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真空度测试仪的研制原理及技术简介

真空度测试仪的研制原理及技术简介
基本工作原理
磁控放电法测试真空度的基本原理如下:将真空泡两触头拉开一定的开距,并置于通有大电流的螺线管内,在两触头间施加高压脉冲,从而在真空泡内产生高压电场和轴向脉冲磁场。这样,在脉冲强磁场和强电场的作用下,真空泡中的电子作螺旋运动,并与残余气体分子发生碰撞产生电离,生成的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。
(1)泄漏电流。将真空泡动静触头拉开一定的间距,并加高压直流脉冲电压,则会在两触头间、触头和屏蔽罩间产生强电场。根据场致发射理论,阴极和屏蔽罩表面会发射出电子,向阳极运动,形成电流,即泄漏电流。由于电子的自由行程远远大于两触头间距,电子几乎不与真空泡内残余气体分子发生碰撞,所以泄漏电流不能正确反应真空泡的真空度。
(2)全电流。为了使泄漏电流的电子能够与残余气体分子发生碰撞,目前常用的方法是在轴向上加一较强的磁场,使得场致发射的电子在电场和磁场的共同作用下发生螺旋运动,这加大了电子运动的行程及与残余气体分子发生碰撞的概率。当电子与残余气体分子发生碰撞后会产生电离现象,并形成稳定的自持放电,这时测量出的电流值为全电流值。
(3)离子电流。全电流的测量值包括了阴极和屏蔽罩发射的泄漏电流,以及残余气体被碰撞后产生电离的离子电流。为了准确测量真空泡内的真空度,还得从全电流中减掉泄漏电流值,得到的才是真正反映真空泡真空度的离子电流值。真空泡使用寿命评定原理:真空泡随着正常使用时间的增长,内部真空度也呈线性增加。通过测定两个间隔时间比较恰当时的真空度,就可确定其变化率,从而确定使用过任意时间后真空泡真空度的大小。
ZKY-2000真空度测试仪(免拆卸无磁控线圈)
产品描述:
实现了真空灭弧室的免拆卸测量,直接显示真空度值,使真空断路器用户详细掌握灭弧室的真空状态,为有计划地更换灭弧室提供了可靠的依据,为电网的**运行提供了有力保障,克服了工频耐压法仅能判断灭弧室是否报废的缺陷。
技术参数:
1.真空度测量范围: 9.999×10-1~1×10-5
2.离子电流测量范围:9.999×10-1~1×10-7
3.测 量 误 差: <5%
4.测 量 分 辨 率: 10-5pa
5.环 境 温 度: -20℃~50℃
6.空 气 湿 度: ≤80%RH
7.工 作 电 源: AC 220V,50Hz±10%
8.外 型 尺 寸: 420×290×210(mm)
9.高 压 输 出: 脉冲≤4kV15kHz
⒑重          量: 8kg
 
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